半导体制造/LED

半导体制造/LED

使全天候的半导体/LED 制造工艺更加完善

  • 提供最高可靠性、
    适用于多年连续稳定生产
  • 前所未有的超高性价比、最大限度地降低每个部件的制造成本
  • 功率极高的、具有成本效益的激光器、最大限度地提高产量

半导体和 LED 加工

Spectra-Physics 是领先的激光器供应商、其生产的激光器可用于半导体和 LED 制造。 我们的激光器可经受各种半导体和 LED 应用的严格考验、这些应用包括 LED 划刻和剥离、硅划刻/划切、晶片光刻检验、电路微调/维修以及许多其他应用。 Spectra-Physics 在各种要求严格的半导体和 LED 应用中部署了成千上万台紫外激光器、其广泛的激光器产品组合可靠性高且颇具成本效益、并拥有行业领先的全球支持团队作为强大后盾。

 请联系我们的专家、讨论您激光应用的相关需求和挑战。 让我们通力合作、解决您的难题。

划刻/划切/雕刻
硅, 蓝宝石、 砷化镓、 低导电材料、 陶瓷、 氮化镓、 氮化铝铟镓、 玻璃、 铜
微调
电阻 - 薄膜、厚膜
切割
芯片粘结薄膜 (DAF)
钻孔
硅中介层 (TSV)、 玻璃中介层、LTCC 胶带、  氧化铝/陶瓷
打标
硅、 蓝宝石、陶瓷、芯片封装、AlN、氧化铝
显微机械加工
硅、 陶瓷、 玻璃
存储器修复
硅 IC
退火
非晶硅
晶片光刻检验
硅 IC
封装切割
塑封材料
激光剥离
氮化镓、氮化铝铟镓
Quasar
最高功率绿光混合纤维激光器、具有 TimeShift 脉冲灵活性、
可用于高速优质微加工
Talon
颠覆性的超高性价比紫外激光器
HIPPO
通用性设计适用于精密加工和紧凑型工业封装划刻
Spirit
设定高精度飞秒加工的新标准
IceFyre
适用于精密微加工的全能型全新格局皮秒激光器
VGEN-ISP-POD
卓越功能按需脉冲 (POD) MOPA 光纤激光器
VGEN-G
绿光脉冲光纤激光器 (532 nm)

适用于 FDP 制造的激光器

产品类型脉冲宽度功率波长
new
Spirit
设定高精度飞秒加工的新标准
超快 400 fs 8 W、16 W、30 W、
70 W、100 W
515、520、1030、
1040 nm
new
IceFyre
适用于精密微加工的全能型全新格局皮秒激光器
皮秒 <20 ps >50 W 1064 nm  
Quasar
最高功率绿光混合光纤激光器、具有 TimeShift 脉冲灵活性、可用于高速优质微加工
混合纤维激光器 2–100 ns 45–60 W、 75–95 W 355、 532 nm  
Talon
颠覆性的超高性价比紫外激光器
Q 开关 15–100 ns 6–45 W、 15–40 W 355、 532 nm  
HIPPO
通用性设计适用于精密加工和紧凑型工业封装划刻
12–30 ns 2 W、 17–27 W 266、 1064 nm  
Explorer
DPSS 红外激光器
<12 ns 2 W 1064 nm  
new
Explorer One
紧凑型风冷式高功率紫外纳秒激光器
5-15 ns、 <12 ns、 <15 ns 1.1-0.5 W、2 W、4 W、5 W 349、 355、 532 nm  
Navigator
具有行业领先的悠久历史/可靠性、适用于修整和精密加工应用
8–110 ns 3–12 W 532、 1064 nm  
Vanguard
锁模、准 CW:性能可靠、使用寿命长
准 CW <12 ps 0.3–2.5 W 355 nm  
Quanta-Ray Pro
脉冲 Nd:YAG、每一脉冲能量高达 2.5 J

脉冲 Nd:YAG

1–12 ns 15–50 W 266、355、532、1064 nm  
new
VGEN-G
绿光脉冲光纤激光器(532 nm)
纤维 <1 to >20 ns 20-30 W 532 nm  
VGEN-ISP-POD
卓越功能按需脉冲 (POD) MOPA 光纤激光器
1–300 ns 10–50 W 1060–1080 nm  

应用说明

application notesnew
使用IceFyre皮秒激光器脉冲串方式加工铜和不锈钢 以提高材料移除率
application notesnew
采用高功率飞秒激光器的柔性 OLED 制造
application notesnew
硅的皮秒激光器脉冲串加工提高材料去除率和质量
application notesnew
用100瓦飞秒激光器高速加工塑料材料
application notesnew
用 IcrFyre 皮秒激光器对透明脆性材料进行微加工
application notesnew
用 Talon 脉冲紫外和绿光激光器进行陶瓷划线
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E-Track: Explorer One 激光器主动脉冲能量控制
application notes
通过紫外激光源钻孔制造有孔玻璃;为更高的产出和质量定制短暂脉冲
application notes
用Spirit飞秒激光器切割玻璃
用 Quasar 进行精密微加工
使用 Quasar 进行玻璃切割和硅划刻
采用 Spirit 和 Spirit ps 进行超短脉冲激光成型
飞秒激光器照射与化学蚀刻 (FLICE)
采用 VGEN-ISP 进行 ITO 和 Ag 制图
Explorer 推动更短波长的激光打标趋势
采用 355 nm 激光器划切 LED 蓝宝石晶片
LED 激光划刻手册
紫外激光器玻璃切割
采用线聚焦的高速激光划切薄硅晶片

技术文献

资源库