微細加工用超短パルスレーザー

スペクトラ・フィジックスは, 数千台にも及ぶフェムト秒, ピコ秒レーザーの納入実績があり, 加工精度の要求が高い最先端微細加工分野において長期間安定動作可能な極めて信頼性の高いレーザーシステムを供給致します.

ClearShape™ 高品質ガラスカッティング (>1 m/sec)

フェムト秒レーザー セレクションガイド

製品概要パルス幅平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
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Spirit
フェムト秒微細加工の新たなスタンダード
 
 
Pulse Width
<400 fs
Average Power
>100 W
>70 W
>30 W
>16 W
>8 W
Pulse Energy
>120 µJ
>70 µJ
>120 µJ
>120 µJ
>40 µJ
Rep Rate
Up to 10 MHz
Up to 10 MHz
Up to 1 MHz
Up to 1 MHz
Up to 1 MHz
 
Solstice Ace
高出力, 産業向けフェムト秒One Boxアンプシステム
 
Pulse Width
<35 fs
<120 fs
Average Power
Up to >7 W
Pulse Energy
Up to >6 mJ
Rep Rate
1–10 kHz
 
femtoTrain
コンパクト, 高信頼性高エネルギーフェムト秒レーザー
 
Pulse Width
<220 fs
Average Power
>5.0 W
Pulse Energy
>500 nJ
Rep Rate
10 MHz
 
HighQ-2
超コンパクト・空冷波長固定・フェムト秒レーザー
 
Pulse Width
<250 fs
Average Power
>1.5 W
Pulse Energy
>24 nJ
Rep Rate
63 MHz
 

ピコ秒レーザー セレクションガイド

製品概要パルス幅平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
new
IceFyre
画期的なコストパフォーマンス, 産業用途に最適なピコ秒レーザーシステム
new
 
Pulse Width
<20 ps
Average Power
>50 W
Pulse Energy
>200 μJ
Rep Rate
Single shot to 8 MHz
 
Vanguard
高安定性モードロックQ-CWレーザー
 
Pulse Width
<12 ps
Average Power
Up to >2.5 W
Pulse Energy
>31 nJ
Rep Rate
80 MHz
 

微細加工用レーザー・アプリケーション

強化ガラス切断
非強化ガラス切断
サファイアガラス切断
ガラス穴あけ
ガラス切断
サファイアガラス切断
スタックピクセル修復
薄膜パターニング
ステント製作
カテーテル穴あけ
線材被覆剥離
義肢製作
Low-k グルービング
ウエハー検査
セラミック・スクライビング/穴あけ
ヴィアホール穴あけ
シリコン/ガラス貫通ビア
ポリマーステント製作
二光子重合
ポリイミド切断・穴あけ
3次元光造形
金属箔切断・穴あけ
ニチノールステント製作