微加工超快激光器

Spectra-Physics是超快激光器的市场领导者。随着数以千计的工业激光器安装在高要求的制造应用中，Spectra-Physics为长年累月的生产运行提供了最高的可靠性，从而推动了微加工生产应用的发展。

超短脉冲激光微加工

微加工的激光要求

激光微加工的其中一个挑战是仅仅去除所需材料（通常通过局部加热来实现），与此同时使任何剩余材料的 HAZ 最小化。精确地将接近完美光束质量的激光辐射传输至目标区域，是达到理想结果的一个必要步骤。较短的 波长和较窄的脉冲宽度有利于获得较高质量的结果。例如，VIS 和UV 光谱区域中的波长在大多数材料中更容易被 吸收，导致吸收深度浅且HAZ 明显减小。紫外激光也可以聚焦成更小的光斑用于更小、加工精度要求更高的特征， 且紫外激光焦深较长，能够提高加工合格率。脉冲宽度在皮秒和飞秒量级的超短脉冲产生强峰值功率，导致样品 上的非线性吸收，实现瞬时材料蒸发，传递到材料中的热量极少，且HAZ 可忽略不计。该工艺通常被 称为“冷消融”工艺，如图1 所示。请访问Newport.com，以获取有关激光微加工的更多信息。
毫秒级长脉冲激光（左）与超短脉冲激光（右）相比，激光脉冲宽度对加工质量的影响。

皮秒微加工激光器

产品 说明 脉冲宽度 功率 脉冲能量 重复频率

IceFyre®
多功能紫外、绿光和红外皮秒激光器：皮秒微加工的新标准

 <12 ps

<15 ps		 >50 W UV
>30 W UV
>50 W GR
>50 W IR		 >40 µJ
>60 µJ
>100 µJ
>200 µJ		 1-10 MHz

飞秒微加工激光器

产品 说明 脉冲宽度 功率 脉冲能量 重复频率

IceFyre® FS
突破性的高功率飞秒紫外和红外激光器可以全天候获取关键材料

 <500 fs >50 W UV
>200 W IR		 >50 µJ
>200 µJ		 1-3 MHz
1-50 MHZ

Spirit®
大功率飞秒激光器
高精度微加工标准

 <400 fs >140 W
>100 W
>70 W
>50 W
>30 W
>16 W
>8 W		 >600 µJ
>100 µJ
>70 µJ
>50 µJ
>120 µJ
>120 µJ
>40 µJ		 100 kHz-30 MHz
1-30 MHz
1-30 MHz
1-30 MHz
250 kHz or 1 MHz
100, 200 kHz or 1 MHz
200 kHz or 1 MHz

Solstice® Ace™
高能量工业级超快放大器

 <35 fs-
<120 fs		 >8 W >1.6 mJ 1-10 kHz
femtoTrain™
最高峰值功率飞秒振荡器		 <220 fs >5.0 W >500 nJ 10 MHz
HighQ-2™
固定波长飞秒激光器
• 超紧凑，气冷式		 <250 fs >1.5 W >24 nJ  63 MHz