优异性价比紫外和绿光纳秒激光器
- 性能、可靠性及成本的非凡组合
- 12 种具有常见的光学、电气和命令接口的可互换型号,实现宽广的加工范围
- 坚固的工业平台
- 出色的光束参数、性能以及稳定性
- 用于进行可靠操作的 ALPS 腔洁净度控制系统
- 二极管使用寿命长,在激光器整个使用周期中干预极小 查看所有功能
应用
规格
输出特性 - Talon 型号1, 2, 7
| Talon UV45 | Talon UV30 & APX UV30 | Talon UV20 & APX UV20 | Talon UV15 & APX UV15 | Talon UV12 & APX UV12 | Talon UV6 & APX UV6 | Talon GR20 | Talon GR40 | Talon GR70 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 波长 | 355 nm | 355 nm | 355 nm | 355 nm | 355 nm | 355 nm | 532 nm | 532 nm | 532 nm |
| 功率2 | >30 W @ 100 kHz | >15 W @ 50 kHz | >10 W @ 50 kHz | >15 W @ 50 kHz | >12 W @ 50 kHz | >6 W @ 50 kHz | >20 W @ 50 kHz | >20 W @ 50 kHz | >70 W @ 275 kHz |
| >45 W @ 150 kHz >35 W @ 200 kHz | >30 W @ 100 kHz >23 W @ 200 kHz | >20 W @ 100 kHz | >13 W @ 100 kHz | >10 W @ 100 kHz | >4 W @ 100 kHz | >18 W @ 100 kHz | >40 W @ 100 kHz >36 W @ 200 kHz | ||
| >23 W @ 300 kHz | >17W @ 300 kHz | >11 W @ 300 kHz | >3 W @ 300 kHz | >3 W @ 300 kHz | >1 W @ 300 kHz | >13 W @ 300 kHz | >30 W @ 300 kHz | ||
| 重复频率 | 0-500 kHz kHz | 0-700 kHz | |||||||
| 脉冲宽度 | <35 ns @ 150 kHz | <25 ns 时 100 kHz | <43 ns 时 550 kHz | ||||||
| 脉冲对脉冲能量稳定性 | 150 kHz 时 <2% rms | 100 kHz 时 <2% rms,典型值 | 50 kHz 时 <2% rms,典型值 | 100 kHz 时 <2% rms,典型值 | 最高 550 kHz 时 <3% rms | ||||
| 最高 300 kHz 时 <3% rms 300 kHz 以上时 <5% rms | 最高 150 kHz 时 <3% rms 最高 300 kHz 时 <5% rms,典型值 | 最高 300 kHz 时 <3% rms 300 kHz 以上时 <5% rms | |||||||
光束特性3
| Talon UV45 | Talon UV30 | Talon UV20 | Talon UV15 | Talon UV12 | Talon UV6 | Talon GR20 | Talon GR40 | Talon GR70 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 空间模式 | TEM00 | ||||||||
| M2 | <1.2 | ||||||||
| 极化比 | 垂直向 100:1 | ||||||||
| 光束直径,束腰 | 3.5 mm ±10%5 | 1.0 mm ±10% | 2.0 mm ±10% | ||||||
| 发散角(全圆角) | <0.3 mrad | <0.6 mrad | <0.9 mrad | <0.6 mrad | |||||
| 光束不对称性 | <1.1 | ||||||||
| 孔径公差 | <1 mm, <1 mrad | ||||||||
| 光束指向稳定性4 | <±25 µrad/°C | <±10 µrad/°C | <±25 µrad/°C | ||||||
工作条件/环境范围
| Talon UV45 | Talon UV30 | Talon UV20 | Talon UV15 | Talon UV12 | Talon UV6 | Talon GR20 | Talon GR40 | Talon GR70 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 交流输入 | 110/220 ±10% VAC, 50-60 Hz | ||||||||
| 预热时间 | 待机模式下 <20 分钟; 冷启动 <40 分钟 | ||||||||
| 温度范围 | 工作时 18 至 35°C;非工作时 -20 至 50°C | ||||||||
| 海拔 | 工作时 0–3,000 m;非工作时 0–12,000 m | ||||||||
| 湿度6 | 8-95%,无结露 | ||||||||
| 冷却水温度 | 20°C ±1°C,稳定到 ± 0.2°C | ||||||||
| 冷却水流量 | 3.5–6.0 升/分钟, 40 psi 典型值 | 最低 1.5 升/分钟,20 psi 典型值 | 3.5–6.0 升/分钟, 40 psi 典型值 | ||||||
| 热负荷(针对水) | <800 瓦 | <350 瓦 | <300 瓦 | <350 瓦 | <800 瓦 | ||||
| 总功率消耗 | <900 Watts | <400 瓦 | <300 瓦 | <400 瓦 | <900 瓦 | ||||
物理特性
| Talon UV45 | Talon UV30 | Talon UV20 | Talon UV15 | Talon UV12 | Talon UV6 | Talon GR20 | Talon GR40 | Talon GR70 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 尺寸(激光器) (长 x 宽 x 高) | 28 x 9 x 5 英寸 (711 x 229 x 127 mm) | 25 x 6 x 4.5 英寸 (635 x 153 x 115 mm) | 28 x 9 x 5 英寸 (711 x 229 x 127 mm) | ||||||
| 重量(激光器) | 45 磅 (20.5 kg) | 28 磅 (12.7 kg) | 45 磅 (20.5 kg) | ||||||
| 尺寸(公用模块) (长 x 宽 x 高) | 19.6 x 19 x 3.5 英寸 (498 x 482 x 88 mm) | 不适用 | |||||||
| 重量(公用模块) | 22 磅 (10 kg) | 不适用 | |||||||
功能
| Talon UV45 | Talon UV30 | Talon UV20 | Talon UV15 | Talon UV12 | Talon UV6 | Talon GR20 | Talon GR40 | Talon GR70 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 可选安全快门 | 外部安装,便于现场维修或客户自行更换 | ||||||||
| 内部功率监控 | 可使用外部功率计进行校准 | ||||||||
| E-Pulse 脉冲能量控制 | 确保脉冲能量、脉冲宽度和光束参数在各种重复率下保持恒定状态 | 不适用 | |||||||
| 数据记录 | 诊断与设备维护的长短期记录 | ||||||||
| 连续光模式,用于准直校验 | 用于工具中安装与校准的低功率连续光 UV 光束 | 不适用 | |||||||
| 牺牲窗口 | 客户可自行更换,以便在严苛环境中保持功率 | ||||||||
| ALPS(主动激光净化系统) | 确保内部光学组件在长期可靠操作中保持清洁状态 | 不适用 | |||||||
| 精确位置定位 | 淬火钢质定位销插孔,保证更换时的准直精确可重复 | ||||||||
输出特性 - Talon HE 型号 1, 2, 5
| Talon HE UV500 | Talon HE UV275 | Talon HE GR1000 | |
|---|---|---|---|
| 波长 | 355 nm | 355 nm | 532 nm |
| 脉冲能量2,3 | |||
| 15 kHz | 500 µJ 典型值 | 275 µJ 典型值 | 1000 µJ 典型值 |
| 20 kHz | >500 µJ | 275 µJ 典型值 | >750 µJ |
| 40 kHz | 192 µJ 典型值 | >275 µJ | 325 µJ 典型值 |
| 100 kHz | 42 µJ 典型值 | 59 µJ 典型值 | 100 µJ 典型值 |
| 功率2,3 | |||
| 15 kHz | - | - | 15 W 典型值 |
| 20 kHz | >10 W | 5.7 W 典型值 | >15 W |
| 40 kHz | 7.7 W 典型值 | >11 W | 13 W 典型值 |
| 100 kHz | 4.2 W 典型值 | 5.9 W 典型值 | 10 W 典型值 |
| 频率2,3 | 20 kHz | 40 kHz | 20 kHz |
| 重复频率 | 0 至 150 kHz | ||
| Pulse Width | 20 kHz 时 25–40 nsec | 45 kHz 时 40–60 nsec | 20 kHz 时 25–40 nsec |
| 脉冲对脉冲能量稳定性 | <3% rms | ||
光束特性
| Talon HE UV500 | Talon HE UV275 | Talon HE GR1000 | |
|---|---|---|---|
| 空间模式 | TEM00 | ||
| M2 | <1.2 | ||
| 极化比 | 垂直向 100:1 | ||
| 光束直径,束腰 | 3.5 mm ±10% | 1.0 mm ±10% | |
| 发散角(全圆角) | <0.3 mrad | <0.9 mrad | |
| 光束不对称性 | <1.1 | ||
| 孔径公差 | <1 mm, <1 mrad | ||
| 光束指向稳定性4 | <±10 µrad/°C | ||
工作条件/环境范围
| Talon HE UV500 | Talon HE UV275 | Talon HE GR1000 | |
|---|---|---|---|
| 交流输入 | 110/220 ±10% VAC, 50-60 Hz | ||
| 预热时间 | 待机模式下 <20 分钟;冷启动 <40 分钟 | ||
| 温度范围 | 工作时 18 至 35°C;非工作时 -20 至 50°C | ||
| 海拔 | 工作时 0-2,000 m;非工作时 0–12,000 m | ||
| 湿度6 | 8-95%,无结露 | ||
| 水冷却要求 | 20°C ±1°C,稳定到 ±0.2°C,最少 1.5 升/分钟,20 psi | ||
| 热负荷(针对水) | <350 W | ||
| 总功率消耗 | <400 W | ||
物理特性
| Talon HE UV500 | Talon HE UV275 | Talon HE GR1000 | |
|---|---|---|---|
| 尺寸(激光器) (长 × 宽 × 高) | 25 x 6 x 4.5 英寸 (635 x 153 x 115 mm) | ||
| 重量(激光器) | 28 磅 (12.7 kg) | ||
| 尺寸(公用模块) (长 x 宽 x 高) | 19.6 x 19 x 3.5 英寸 (498 x 482 x 88 mm) | ||
| 重量(公用模块) | 22 磅 (10 kg) | ||
功能
| Talon HE UV500 | Talon HE UV275 | Talon HE GR1000 | |
|---|---|---|---|
| 可选安全快门 | 外部安装,便于现场维修或客户自行更换 | ||
| 内部功率监控 | 可使用外部功率计进行校准 | ||
| E-Pulse 脉冲能量控制 | 确保脉冲能量、脉冲宽度和光束参数在各种重复率下保持恒定状态 | ||
| 数据记录 | 诊断与设备维护的长短期记录 | ||
| 连续光模式,用于准直调校 | 用于工具中安装与校准的低功率连续光 UV 光束 | ||
| 牺牲窗口 | 客户可自行更换,以便在严苛环境中保持功率 | ||
| ALPS(主动激光净化系统) | 确保内部光学组件在长期可靠操作中保持清洁状态 | ||
| 精确位置定位 | 淬火钢质定位销插孔,保证更换时的准直精确可重复 | ||
Footnotes:
- 产品规格如有变更,恕不另行通知。
- 功率规格和担保功率仅适用于以粗体字显示的以粗体字显示的, 其他值为典型值。
- 所有光束参数规格均基于 100 kHz 条件,例外情况:UV45 为 150 kHz,GR70 为 500 kHz。
- 指向稳定性在预热 2 小时后适用。
- Talon UV15 可根据要求提供 1.0 mm 光束直径。
- 激光冷却液温度下不凝结。
- Talon 为 IV 级高功率激光器,根据定义,其光束存在安全隐患和火灾危险。
- 功率6-45 W
>40 W - 脉冲能量>300 µJ
>400 µJ - TypeDPSS Laser
- 波长区域VIS
- 脉冲宽度ns
- 波长355 nm
532 nm - 应用Medical Device Fabrication
- 工艺类型Stereolithography
- 过程Through-silicon Via Drilling
功能
概述
Talon® 是 ns UV 和绿光 Q 开关 DPSS 激光器的高性能系列,专为需要高可靠性、光束质量和长使用寿命的苛刻工业应用而设计。Talon激光器在紫外模式下每脉冲可提供高达 45 W 或 500 μJ 的功率,在绿光下每脉冲功率 70 W 或 1000 μJ,在 0 – 500 kHz (UV) 和 0 – 700 kHz(绿光)的宽重复频率范围内提供卓越的功率和精度,具有出色的脉冲间稳定性和 TEM00 光束质量。
性能、可靠性和成本的空前组合
Talon 基于 Spectra-Physics’ It’s in the Box 设计, 将激光器和控制器集成到一个紧凑的封装中,以简化安装并降低复杂性。整个产品系列的通用光学、电气和命令接口简化了进一步的系统集成和替换。
Talon 激光器专为持续不间断的工业制造环境而设计,具有长期稳定性和低拥有成本。升级版的 Talon APX 激光器将预期使用寿命延长至 40,000 小时,在 24/7 生产环境中生命周期可达 5 年以上。
灵活的平台
Talon 是一个自由灵活的平台,允许依照流程要求及预算选择合适的激光器。6 W 到目前 45 W 型号的紫外光和 15 W 到 70 W 型号的绿光输出保持一致的功能、特性与优势。偏好短脉冲宽度时,Talon 凭借其高峰值功率和短脉冲宽度更胜一筹。如果想要更高的脉冲能量和更大的脉冲宽度,Talon HE 型号可提供具有高脉冲能量的 3 至 6 倍脉冲宽度。
用户友好和高可靠性
每个 Talon 型号都采用相同界面和外观,同样易于使用,令现有流程更具可调节性,可以轻松过渡至新一代设备 Talon 激光器均标有瞄准线,可简单方便地完成任何必要的更换。该激光器可通过 RS 232 或 USB 接口远程控制,并整合了主要参数的大量实时数据记录。在最高 500 kHz 的紫外和最高 700 kHz 的绿光工作范围下,模式质量保持稳定。凭借较长的使用寿命、创新的光学和电子设计以及 Spectra-Physics 在生产全天候应用中的紫外激光器上的丰富经验,Talon 成为了适用于要求严格的应用的高可靠性激光器。
兼容的功率传感器
要验证和分析 Talon 激光器的输出功率,我们推荐使用 Ophir F80(120)A-CM-17 (7Z07103) 或者 30(150)A-SV-17 (7Z02724) 热功率传感器和 Centauri 激光功率计。 有关此激光测量设备的更多信息,请访问 ophiropt.com 网站。 其他 Ophir 传感器和仪表也可能适用于 Talon,详细情况取决于具体应用。 Ophir 还与激光系统开发人员合作,实现嵌入式光束诊断,提供了监控系统性能的 OEM 解决方案。
推荐光机械与光学元件
为您的 Talon 激光器选择最匹配的光机械与光学元件至关重要。Talon激光器的高紫外及绿色输出功率要求光学元件具备高损伤阈值。MKS Newport 提供涵盖紫外、可见光、近红外及红外全波段的高品质光学元件与光机组件,助您应对最具挑战性的应用需求。
资源
技术文献
半导体先进封装中的激光切割优化方案 激光器赋能 SiP 制造(2.5 MB, PDF) 切割印刷电路板应用中的绿灯(2 MB, PDF) 纳米到皮秒再到飞秒:可实现优异激光微加工结果的脉冲宽度 用于高精度快速 PCB 制造的先进紫外激光器(513.8 kB, PDF) 微电子制造所用陶瓷材料的激光加工
应用说明
紫外纳秒与红外飞秒激光技术烧蚀碳化硅的效率对比(11 MB, PDF) 高功率绿光 DPSS 激光器在氧化铝陶瓷的切割和划线中的应用(1.6 MB, PDF) 使用绿光纳秒脉冲激光器快速切割柔性 PCB(1.2 MB, PDF) 先进的绿光纳米激光器在薄 SiP 和厚 PCB 切割中的应用(1.4 MB, PDF) 高功率紫外纳秒激光器在柔性印刷电路 和微电子材料加工中的应用(457.2 kB, PDF) 使用 Talon® 脉冲紫外和绿光激光器进行陶瓷划线(802.7 kB, PDF) 使用纳秒紫外激光切割锂电池隔离膜(476.9 kB, PDF) 用红外、绿光或紫外激光器进行高质量锂电池加工(439 kB, PDF) 高功率、高重复频率紫外激光器用于快速柔性 PCB 加工(882.6 kB, PDF) 用 Talon®激光器进行切割和钻孔(911.8 kB, PDF) Talon® 紫外激光器加工 PCB(675.4 kB, PDF) 低 M2 激光加工的优势(1,000.1 kB, PDF) ITO 激光制图 - 应用重点 (767.3 kB, PDF) 高斯与平顶光束加工 - 应用重点 006(1.3 MB, PDF) 太阳能电池激光刻蚀划线 - 应用重点 (624.8 kB, PDF) 紫外激光器玻璃切割 - 应用重点 (785.5 kB, PDF)
资料
加快了钙钛矿太阳能电池制造业的发展(67.4 MB, PDF) 革新锂离子电池制造(9.5 MB, PDF) SiP 系统封装应用手册(14.7 MB, PDF) 结晶硅光电激光加工手册(1.3 MB, PDF) LED 激光划刻手册(237.7 kB, PDF)





